◎ 本機器采用晶圓自旋轉研磨法的原理為:如圖a 采用略大于晶圓的工件轉臺，工件通過真空吸盤夾持在工件轉臺的中心，磨輪邊緣調整到工件的中心位置，工件和砂輪繞各自的軸線回轉，進行切入減薄。砂輪與工件的接觸長度、接觸面積、切入角不變，研磨力恒定，加工狀態穩定，可以避免工件出現中凸和塌邊現象。尤其對較薄的工件表現較為明顯。
◎ 研磨主軸均采用氣浮軸承結構，定子、轉子之間由于沒有機械軸承的摩擦力，磨損程度降到了最低，從而確保精度始終保持穩定。
◎ 氣浮軸承阻力較低，允許較高的速度，并能同時保持較低的振動水平。
◎ 氣浮主軸精確的、可重復的運動，使得表面光度達到了非常出色的程度。由于硬度是由貫穿軸承的、始終如一的空氣流提供的，轉子所經受的、來自外負載的作用力，在其旋轉時穩定的分布在所有點上。這一特性與磨削時產生良好的表面光度息息相關。
