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深圳市夢啟半導體裝備有限公司

半自動上蠟機

型號：DL-SL305A/SL360A

半自動上蠟機采用固態蠟熔蠟方式，精確、定量滴蠟；精密氣壓控制，可精準控制蠟厚，貼片后的TTV≤5um。

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半自動上蠟機
設備優勢

◎ 采用固態蠟熔蠟方式，精確、定量滴蠟。


◎ 加熱冷卻盤內部采用精密加熱和自動冷卻系統，可精確控制盤面溫度。


◎ 采用獨立氣缸壓片方式，精密氣壓控制，可精準控制蠟厚。


◎ 貼片后的TTV≤5um。

性能參數
參數名稱單位DL-SL305ADL-SL360A
晶圓尺寸in?4'' (?2''/?4'')

?6'' (?4''/?6'')

陶瓷盤尺寸mm?305x15?360x15
噴蠟量
g0.1~0.350.1~0.35
加熱盤溫控范圍℃60~180

60~180

上蠟厚度TTV
um≤5≤5
噴蠟重復定位精度mm±0.05±0.05
噴蠟精度g±0.02±0.02
加壓氣缸Kg500~1000500~1000
設備尺寸（W x D x H）mm1350x1350x17001550x1550x1900
設備重量Kg約800約1000
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晶圓上蠟機根據客戶不同的需求進行定制，滿足不同客戶的需求，擁有專業技術團隊，設備精度高，使用壽命高，負責上門安裝調試及培訓

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